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碳化硅研发实验室里,空气安静得能听见通风系统微弱的气流声。
张明远站在x射线衍射仪旁,盯着屏幕上刚刚刷新出来的分析图谱。林海凑在一边,手指无意识地攥着实验服的下摆。两个研究生站在稍远处,屏住呼吸。
图谱上,代表晶体缺陷密度的峰值,稳稳地落在了一个他们反复计算、却从未真正触及过的数值区间。
“第几片了?”张明远的声音有些干涩。
“本批次随机抽检的第十片。”林海看了眼记录板,“前面九片的缺陷密度分别是:785,792,801,779,788,795,776,790,784……单位都是每平方厘米。”
“平均值?”
“785.6。”林海几乎是一字一顿地报出这个数字,“标准差,8.7。”
实验室里那根紧绷了数月的弦,在这一刻,悄然松了一扣。
低于800。稳定。量产批次。
张明远摘下眼镜,用力揉了揉鼻梁,又重新戴上,仔细核对了每一个数据点的校准标记。“把这一批三十片衬底的全部检测报告整理出来。我要看统计分布,不只是平均值。”
“已经在做了。”一个研究生立刻调出数据统计界面,柱状图呈现出一个漂亮的正态分布,绝大多数数据点集中在770到800之间。
林海终于放开实验服,长长吐出一口气,咧开嘴,笑容从嘴角一直爬到眼角:“张老师,我们……好像真成了?”
“只是第一步。”张明远的声音依旧平静,但镜片后的眼睛里,有光在闪动,“证明我们掌握了在六英寸衬底上稳定生长低缺陷密度碳化硅晶体的工艺能力。但距离器件级应用,还有距离——均匀性、掺杂控制、后期加工……”
“您说得对。”林海打断他,笑容不减,“但今天,就今天,让大伙儿高兴五分钟,行不?我这就去告诉陆总!”
张明远看着林海几乎是跳着冲出实验室的背影,摇了摇头,嘴角却也不自觉地扬起一个微小的弧度。他转向两个研究生:“把数据备份三份,一份存研发服务器,一份刻盘归档,还有一份……”他顿了顿,“打印出来,贴到实验室门口的通告栏上。让所有人都看看。”
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